高純水設(shè)備出水電阻率達(dá)到18兆歐就可以了？答案肯定是不可以的。

   半導(dǎo)體和集成電路生產(chǎn)中所用到的高純水不緊要求電阻率達(dá)到18.25兆歐以上，同時(shí)對(duì)各種金屬離子都有比較苛刻的要求，比如說鋅、鐵和銅離子，都要求達(dá)到0.05ppb等級(jí)，美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)更嚴(yán)格，要達(dá)到0.02ppb。

   電子級(jí)高純水同時(shí)對(duì)細(xì)菌要求比較高 細(xì)菌要求<5/1000CFU/ml，而制藥行業(yè)純化水標(biāo)準(zhǔn)是100CFU/ml，可以看出電子級(jí)高純水標(biāo)準(zhǔn)要求是要無數(shù)倍的。

   同時(shí)TOC、顆粒物、二氧化硅、溶解氧都有很嚴(yán)格的要求。詳情請(qǐng)見上篇文章，高純水標(biāo)準(zhǔn)對(duì)比。