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蘇州市創聯凈化設備有限公司
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電子級高純水標準對比

電子級高純水標準和半導體超純水標準對比分析
2025-08-16 17:02:06蘇州市創聯凈化設備有限公司205

電子級高純水和半導體高純水用水標準對比

微電子工業水質標準


LED(TFT)

256K DRAM

1M DRAM

4M DRAM

16M DRAM

64M DRAM

線寬度(um)

-

1.4 - 1.8

0.8 - 1.0

0.4 - 0.6

0.2 - 0.3

0.1

電阻率

（Mohm,25℃）

>18.0

>17.5

>18.0

>18.0

>18.1

>18.1

TOC（ppb）

<20<>

<100<>

<30<>

<10<>

<3<>

<1<>

微粒（No./ml）

(0.1μ)<10>

(0.2μ)<50>

(0.1μ)<10>

(0.05μ)<30>

(0.03μ)<10>

(0.03μ)<5>

細菌（CFU/ml）

<1>

<10>

<1>

<5>

<5>

<5>

溶解氧（ppb）

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二氧化硅（ppb）

<5<>

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<5<>

<3<>

<1<>

<0.5<>

硼（ppb）

-

-

<2<>

0.05

0.05

0.05

鈉（ppb）

<0.1<>

<0.2<>

<0.1<>

<0.1<>

0.05

0.01

鉀（ppb）

<0.1<>

<0.3<>

<0.1<>

<0.1<>

0.05

0.02

鋅

<0.05<>

<0.1<>

<0.05<>

<0.05<>

0.02

0.02

鐵

<0.05<>


<0.05<>

<0.05<>

0.02

0.02

銅

<0.05<>


<0.05<>

<0.05<>

0.005

0.005

氯化物

<0.1<>

<0.2<>

<0.1<>

0.1

0.02

0.02

溴化物


<0.1<>

<0.1<>

0.05

0.02

0.02

硝酸鹽


<0.1<>

<0.1<>

0.05

0.02

0.02

硫酸鹽


0.1

<0.2<>

0.05

0.05

0.05

不溶殘渣


<0.3<>

0.1

0.05

0.05

0.05




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