去離子水是指除去離子形式的雜質后的純水。當今去離子水設備的工藝主要采用反滲透法。離子交換樹脂用于去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然有可溶性有機物，會污染離子交換并降低其效率。超純水在儲存后還容易引起細菌繁殖。超純水是通過離子交換樹脂去除水中的離子雜質而獲得的近乎純凈的水。去離子水設備的合理設計直接關系到超純水的質量和經營的經濟效益。

• 從自來水到去離子水，去離子水設備通常需要執行幾個步驟：

1. 通過石英砂過濾粗雜質。
   
   

2. 然后高壓穿過反滲透膜。
   
   

3. 通常需要進行紫外線消毒以去除水中的微生物。
   
   

4. 如果此時電阻率尚未達到要求，則可以再次執行離子交換過程，最高電阻率可以達到18萬億。

相對而言，蒸餾水僅被汽化然后冷凝。它的純度（例如電阻率）通常不及高純度的超純水。半導體工業中使用的大多數超純水是高純度超純水。去離子水設備的主要用途：
1、實驗室和實驗室用水，普通實驗室的常規測試，固定溶液的配置，玻璃器皿的清潔等；
2、去離子水設備用于電子工業產品，如顯像管玻璃燈泡，顯像管，液晶顯示器，電路板，計算機硬盤，集成電路芯片，單晶硅半導體等；
3、動力鍋爐和鍋爐需要軟化水和脫鹽；
4、汽車，家用電器，建材的表面涂層，電鍍，涂層玻璃清洗；
5、去離子水設備石化工業的應用，化學反應冷卻水，化學試劑，生產液態水等；
6、工業紡織印染，洗鋼水等；
7、食品，飲料，酒，化妝品生產用水；
8、凈化海水和微咸水。